Kejuruteraan pembersihan mikroelektronik optik ditakrifkan sebagai mengeluarkan zarah debu kecil, udara berbahaya, bakteria dan lain-lain dalam ruang tertentu, dan mengeluarkan suhu dan kelembapan dalaman, kebersihan, tekanan dalaman, kelajuan aliran udara dan pengedaran aliran udara, getaran bunyi dan pencahayaan, kawalan elektrik statik dalam ruang keperluan tertentu, dan diberikan kepada ruang tertutup yang direka khusus.
Kejuruteraan pembersihan mikroelektronik optik juga dikenali sebagai bilik bebas debu atau bilik bersih, kini merupakan kemudahan penting yang diperlukan untuk industri semikonduktor, pembuatan ketepatan, pembuatan kristal cecair, pembuatan optik, pembuatan papan litar dan biokimia, perubatan, pembuatan makanan. Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, kerana pembangunan inovatif teknologi, keperluan untuk ketepatan tinggi produk, miniaturisasi lebih mendesak, seperti pembuatan penyelidikan litar aktif super besar, telah menjadi projek yang sangat penting di seluruh dunia dalam pembangunan sains dan teknologi, dan konsep reka bentuk dan teknologi pembinaan syarikat kami berada di kedudukan terkemuka dalam industri.
Kejuruteraan pembersihan mikroelektronik optik biasanya termasuk:
1. kawasan pengeluaran bersih
2, bilik bantuan bersih (termasuk bilik pembersihan kakitangan, bilik pembersihan bahan dan bilik sesetengah ruang tamu, dan lain-lain)
Kawasan pengurusan (termasuk pejabat, tugas, pengurusan dan istirahat)
Kawasan peralatan (termasuk aplikasi sistem penghawa dingin pembersihan, bilik elektrik, bilik air dan gas murni tinggi, bilik peralatan panas sejuk)
Prinsip Pembersihan Kejuruteraan Pembersihan Mikroelektronik Optik
Aliran udara → pembersihan kesan awal → penghawa dingin → pembersihan kesan sederhana → penghantaran angin kipas → paip → pembersihan udara yang cekap → meniup ke dalam bilik → mengambil bakteria debu
Zarah lain → tirai angin semula → pembersihan kesan awal Ulangi proses di atas untuk mencapai tujuan pembersihan.
Parameter pembersihan kejuruteraan pembersihan mikroelektronik optik
Penukaran udara: 100,000 gred ≥15 kali; 10000 gred ≥20 kali; 1000 ≥ 30 kali. Perbezaan tekanan: bengkel utama terhadap bilik bersebelahan ≥5Pa
Kelajuan angin purata: 10 tahap, 100 tahap 0.3-0.5m / s; suhu musim sejuk > 16 ℃; musim panas <26 ℃; Pergantungan ± 2 ℃.
suhu 45-65%; Kelembaban bengkel serbuk GMP adalah kira-kira 50%; Kelembaban bengkel elektronik agak tinggi untuk mengelakkan elektrik statik.
Bunyi bunyi ≤65dB (A); Tambahan angin baru adalah 10% -30% daripada jumlah penghantaran udara; Cahaya 300LX